1、單酸堿：硫酸、氨水、雙氧水、磷酸、硝酸、鹽酸、冰醋酸、氫氧化鉀、氫氧化鈉等。

2、作用：電子級(jí)強(qiáng)酸強(qiáng)堿多應(yīng)用于半導(dǎo)體制造過(guò)程中對(duì)零部件的腐蝕和清洗，表面處理中。

3、SEMI等級(jí)標(biāo)準(zhǔn)：電子化學(xué)品的判定通常采用電子化學(xué)品SEMI國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)等級(jí)表

                    電子化學(xué)品SEMI國(guó)際標(biāo)準(zhǔn)等級(jí)表

4、判定儀器和液樣：

使用儀器：PMT-2 液體顆粒計(jì)數(shù)器，防腐型，檢測(cè)范圍0.1-1.0um，檢測(cè)粒徑0.1、0.2、0.5、1.0um。

液樣：硫酸、氫氧化鈉

5、檢測(cè)結(jié)論：

看檢測(cè)結(jié)果里的積分值，看≥0.1的粒子數(shù)量，≥0.2的粒子數(shù)量，≥0.5的粒子數(shù)量。參照數(shù)量的個(gè)數(shù)來(lái)判定所測(cè)樣品達(dá)到那個(gè)級(jí)別的。

應(yīng)用：化學(xué)品生產(chǎn)商一般在實(shí)驗(yàn)室使用離線取樣檢測(cè)的方式。抽取產(chǎn)線上數(shù)個(gè)液樣，按照批次來(lái)進(jìn)行檢測(cè)。反應(yīng)所生產(chǎn)液樣的工藝是否達(dá)標(biāo)。

6、注意事項(xiàng)：

確保儀器的準(zhǔn)確性：在使用前應(yīng)對(duì)儀器進(jìn)行校準(zhǔn)，以確保檢測(cè)結(jié)果的準(zhǔn)確性。
避免交叉污染：清洗容器，避免容器壁上的顆粒進(jìn)入檢測(cè)液樣；在百級(jí)清潔環(huán)境里進(jìn)行檢測(cè)，避免空氣中的大顆粒進(jìn)入檢測(cè)液樣。